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    PRODUCT CENTER

    产品等级：化学级3N 4N 电子级4.5N
    三氟化氮 NF3
    • 纯度：99.9%-99.995%
    • 别名:Nitrogen trifluoride
    • 危险化学品等级：2.3
    • 包装：43L /47L DOT钢瓶
    • CAS NO: 7783-54-2
    • 标识：有毒
    • 充装量：20KG
    • UN NO: UN2451
    • 运输状态：压缩气体
    • 气体压力：10mpa
    • 阀门型号：CGA590/640
    • 接口螺纹：左旋 反丝
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    产品介绍

         三氟化氮是用作氟化氢-氟化气高能化学激光器的氟源，在h2-O2 与F2之间反应能的有效部分(约25%)可以以激光辐射释放出，所HF-OF激光器是化学激光器中最有希望的激光器。三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，对硅和氮化硅蚀刻，采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳与氧气的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性，而且对表面无污染，尤其是在厚度小于1.5um的集成电路材料的蚀刻中，三氟化氮具有非常优异的蚀刻速率和选择性，在被蚀刻物表面不留任何残留物，同时也是非常良好的清洗剂。


    注意事项：

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    理化特性
    化学式NF3危险货物编号23016
    理化性质外观与性状无色刺激气体饱和蒸汽压（kpa）＞101.35（20°）
    熔点（℃）-208.5℃  相对密度(空气=1)2.46
    沸点（℃）-129℃临界温度（℃）-39.3℃
    毒性及健康：侵入途径吸入。
    健康：吸入该物质会引起呼吸道不适，本产品低毒，但是它能强烈刺激眼睛和皮肤黏膜，腐蚀组织
    急救方法吸入时，迅速脱离现场至空气新鲜处，保持呼吸道通畅，不可进行口对口人工呼吸，就医；立刻脱掉污染衣服，用大量水冲洗，并给予医疗护理；眼睛接触时，用水彻底冲洗至少15分钟，就医

     

    技术指标

     

    产品规格

    99.9%

    		99.99%
    		99.995%

    四氟化碳（CF4）

    ≤500ppm

    ≤40ppm

    ≤20ppm

    氮气（N2）

    ≤50ppm

    ≤5ppm

    ≤5ppm

    氧+氩（O2+Ar）

    ≤50ppm

    ≤5ppm

    ≤3ppm

    二氧化碳（CO2）

    ≤10ppm

    ≤5ppm

    ≤1ppm

    水（H2O）

    ≤1ppm

    ≤1ppm

    ≤1ppm

    酸份（以HF计）

    ≤1ppm

    ≤1ppm

    ≤1ppm

    六氟化硫（SF6）

    ≤25ppm

    ≤2ppm

    ≤1ppm

    氧化亚氮（N2O）

    ≤10ppm

    ≤5ppm

    ≤1ppm

    一氧化碳（CO）

    ≤10ppm

    ≤5ppm

    ≤0.5ppm

     

     

     


     

     

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